約１５年程前マイクロマシンが話題になりました。その技術の核となるのはMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術です。このMEMS技術を使用して微細な加工を行い、3次元形状のセンサやアクチュエータが盛んに研究されました。弊社では２０年前から研究に着手しておりセンサの実用化に成功しています。
さらに先端技術を追求して下記のテーマで試作研究を行っています。また並行して、アクチュエータ要素を加えたマイクロプラントや小型分析計領域を中心にテーマ探索活動を行っています。
【実用化されている研究テーマ】
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・半導体式圧力センサ |
| ・マイクロフローセンサ | |||
| ・サファイア圧力センサ |
【試作研究テーマ】
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・球状SAWガスセンサ |
| ・ナノ結晶シリコン超音波素子 | |||
| ・小型湿度センサ | |||
| ・マイクロミキサー |
計測制御技術の応用の幅は、近年ますます広がりつつあります。山武はこれまで、温熱計測制御、流体計測制御技術において先駆的な役割を担ってきました。これからも、光応用計測や燃料電池や環境リサイクル、バイオメトリクスや空間における作業環境の快適性評価など、幅広い分野における計測制御技術の可能性を追求し、技術に磨きをかけてまいります。
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・次世代流体計測技術 |
| ・温熱・省エネ・制御評価技術 | |||
| ・気流・圧力計測制御技術 | |||
| ・PID制御アルゴリズム/PID調整技術 | |||
| ・ロバスト多変数制御 | |||
| ・燃料電池制御システム研究 | |||
| ・環境リサイクル技術 | |||
| ・バイオメトリックス | |||
| ・知的作業支援環境の構築と評価 | |||
| ・ワイヤレス技術 |
今後の産業社会においては、計測されたデータから、その後の状態を予測し、判定し、その傾向を可視化することで、人間の判断を助ける技術が重要となります。TCBM、RSM-S、Wave Doctorなど、ユニークな情報処理技術で、今後もオートメーション技術の進化に貢献いたします。
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・アラーム解析 |
| ・半導体FDC | |||
| ・最適設計技術 | |||
| ・信号処理技術 | |||
| ・要素技術（TCBM/RSM-S） |
４．次世代オートメーション技術領域
山武はIP-V6などの最新のネットワーク技術、Linuxなどのオープンシステム技術、データベース技術、ワイヤレス技術、高信頼性技術にいち早く取り組み、オートメーション技術に活用してきました。今後も、ヘルスケア遠隔コミュニケーション技術の追求など、社会ニーズの変化に対応した次世代オートメーションシステムの実現に取り組んでまいります。フランスの公的研究機関LETIの協力を得ながら、ユニークなDNAチップとその製造技術の開発を進めています。
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・ＤＮＡチップ |
高性能な小型センサデバイスを構成する精密な部品を製造する生産技術として、下記に示した加工技術及び接合技術の研究開発を進めています。
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・Siウエハ高速切削加工技術 |
| ・ＳＵＳ微細穴高速加工技術 | |||
| ・高耐圧・高絶縁ガラスシール技術 |
