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アラーム解析 　 半導体FDC 　 最適設計技術 　 信号処理技術 　 要素技術（TCBM/RSM-S）

アラーム解析

山武では、化学プロセスでの効率的なアラーム削減を目的とした、イベント解析手法を開発しています。イベント解析技術は、従来の連続計測されたプロセスデータとは異なり、離散的に発生したイベントデータを対象とした解析技術で、類似したイベントのグルーピングや発生順序の解析を行うことができます。これにより、従来は多大な工数とノウハウを必要としていたプロセスアラームの削減を、データ解析により強力に支援することができます。本研究テーマでは、DCSから出力されるイベントデータを使って手軽に解析できるソフトウェアを開発し、実際のプロセスにおいて効果の検証を進めています。

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半導体ＦＤＣ

最先端の半導体製造ラインでは，デザインルールの微細化，ウエハ径の大型化に伴い，装置稼働率の向上や歩留まり向上がますます求められるようになってきています。これらの課題解決の有効な手段としてFDC（Falt Detection & Classfication）が注目され、導入が進んでいます。山武・アドバンスオートメーションカンパニー（以下AAC）では、世界的に導入実績のある仏Si Automation社の「Maestria」を導入し、販売、エンジニアリング、解析サービス、保守サービスなどの事業を展開しています。

FDCにおいては、半導体製造装置から収集されたプロセスデータを対象に、装置やプロセスの知見、さまざまな統計解析手法を用いた解析を行い、いかに異常判定に有効なモデルを構築できるかがポイントとなります。山武では、他の市場で培ってきたデータ解析技術（ノウハウ、ツール）を生かし、AACとともに解析サービス展開に向けた取り組みを行っています。


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参考： ＦＤＣソリューションサイト

最適設計技術

製造業における既存製品の性能改善および新製品開発は重要な課題ですが、自動車、飛行機、船舶など物理数学モデルによりシミュレーションを行え、設計の効率化が行える対象だけとは限りません。

例えば薬や化粧品などといった製品は、実験データを用いて対象を理解し設計を進めていく必要があり、多大な試行錯誤が必要とされています。

このような実験データを用いて設計していく方法には、実験計画法が主に用いられています。実験計画法には、直交条件を満たす厳密なデータ採りの要求や、新たな設計要因の追加制限などの前提条件があります。しかし、開発の初期段階のような場合には、このような前提条件を容易に満たすことができない場合が多々あり、実験計画法だけで対応することは困難です。そこで、実験計画法以外のより柔軟な解析手段が望まれています。

山武では、この問題に対して、実験データを用いて、設計対象の応答曲面（図1）を容易に生成でき、その曲面を用いたシミュレーションと最適化を可能とする技術の研究開発を行っています。また、その技術の社外の製薬や食品などへの応用展開を行っています。さらに、自社製品の開発にも適用し、多大な効果を見込める結果を得ています。


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信号処理技術

山武では、人間の五感の一つである聴覚機能を実現しオートメーション化を可能とする技術開発を行い、特に聴覚と類似した信号処理技術であるウェーブレット変換技術を中心とした信号の計測解析処理技術を事業に応用展開する取組みを行っています。

現在、事業貢献テーマは二つに大別され、一つは山武・アドバンスオートメーションカンパニー　AAM事業部で行われている音響診断事業（図１）における機器設備の故障検知や配管からのガス漏洩検知などです。もう一つは、プラントの運転診断（図２）として、ウェーブレットによりプラントの挙動を解析し制御上の不安定性の原因を突き止め制御性を改善することで省資源化、省コスト化の実現に取り組んでいます。




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参考：携帯型音響診断システムPlantWaker-Digi33
　　　　　ウェーブレット解析ツール

要素技術（TCBM）

多種多様な情報を処理する人間の機能を実現し、オートメーション化を可能とする要素技術開発を行い、特にシーズ的に開発された予測/推定技術と最適条件把握技術を事業に応用展開する取組みを行っています。

現在、事業貢献テーマは二つに大別され、一つは環境事業推進本部で行われている下水流入量予測や不明水発生箇所特定などの都市環境防災事業（図１）です。もう一つは、ビルシステム分野におけるエネルギーソリューション（図２）において設備改善による省エネルギー効果を見積もり、運用により得られた正確な効果を算出するといった取組みを行っています。



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参考：下水流入量予測情報サービス／雨水浸入箇所調査サービス


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