マイクロシステム技術領域

マイクロフローセンサ
ナノ結晶シリコン超音波素子

サファイア圧力センサ
小型湿度センサ

球状ＳＡＷセンサ
マイクロミキサー

マイクロフローセンサ

薄膜技術により、極めて高感度な気体流速センサを実現しました。シリコン基板に形成した極薄ダイアフラム中に測温抵抗体である薄膜のヒータ部とセンサ部とを集積化した気体用超小型流速センサデバイスです。質量流量計、マスフローコントローラーとして製品化しています。
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サファイア圧力センサ

従来の圧力センサでは困難だった、高温・真空環境で使用できる容量式圧力センサを実現しました。耐食性の高いサファイアを微細な寸法形状で高精度に加工する技術を世界で初めて開発しました。

球状SAWガスセンサ

球状SAWガスセンサは弾性表面波（SAW=Surface Acoustic Wave）が球面上を何回も周回する現象（1999年に東北大山中教授らが発見）を利用し、直径1ミリという極小サイズながらも伝搬長が長い（1m以上）という、他のプレーナー型デバイスでは到底達成できないであろう特長を最大限に活かし、球表面のガス濃度の変化を周回の変化として捉えるセンサです。現在開発を行っている水素センサでは極低濃度（10ppm）から高濃度（100%）までの広範囲に渡る検出に成功しており、来たる水素社会における安全の監視装置としての応用および製品化を目指しています。

ナノ結晶シリコン超音波素子

今日の産業の発展においては、シリコン基板を使ったULSI技術は不可欠です。このシリコンも量子サイズとなると、バルクでは見られなかった新しい光学的、電子的、熱的、化学的性質を発現します。山武では、東京農工大の越田研究室と共同で、この熱的性質を利用したナノ結晶シリコン超音波素子を開発しています。この新しい超音波源は既存の技術では難しかったフラットな周波数特性を実現しており、この特徴を利用した新しい超音波スピーカ、精度の高い距離センサ、小型アクチュエータに応用すべく開発を行っています。さらにナノシリコン技術は多くの可能性を秘めており、この基盤技術を多くの製品に展開していく予定です。

MEMS技術を用いた新しい湿度センサ

山武では1980年後半より高分子形成技術に取り組み、長期安定性に優れた高分子容量式湿度センサFP３などの製品が生み出されました。この高分子形成技術とMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術を融合させ、湿度センサのさらなる小型、高性能化に向けて研究を進めています。

マイクロミキサー

マイクロプラントの実用化の要素技術として、２液のエマルジョン化を実現するデバイスとしてマイクロミキサーの研究を進めています。用途に応じた特殊な薄板に精密加工による微細流路を切削加工し、積層することで立体的な流路を構成することを特徴としています。