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山武グループ 環境・社会活動

特集4:建物、工場技術の結晶

世界の産業を支える半導体工場の運用、CSRを守る

急速に拡大する世界規模の半導体工場の生産/安全管理、省エネルギー、
ゼロエミッションの実現に貢献


長崎に拠点を置くSUMCO TECHXIV 株式会社は、半導体に欠かせないシリコンウェーハ製造メーカ。
1960年に小松電子金属株式会社として設立され、以後グローバルな展開を続け、2006年からはSUMCOグループの一員となり、世界のリーディングカンパニーとして発展を続けています。
同社は企業理念に「社会との融和」を掲げ、環境問題に対しても早くから積極的に取り組んでおり、1998年、他社に先駆けてISO14001の認証を取得(長崎工場、宮崎工場)し、ゼロエミッション活動においても99.9%という高い水準を保ち続けています。
山武は、エネルギー消費削減と製造設備環境のハイレベルな安定性が大きな課題といわれるシリコンウェーハ製造を、生産管理、データベースによる報告書作成や分析、新方式によるクリーンルームの空調制御により、歩留まり改善、省エネルギー、省人化、コスト削減に貢献しています。

設備と中央監視、空調システム構成


生産履歴、環境負荷など、管理項目の総合管理でトータルな運用効率化を実現
CSR対応や設備の増設などによる管理項目の増大や大量の報告書作成にも人手を増やさずに対応


SUMCO TECHXIV(株)では、歩留まり向上のため、2003年中央監視装置としてHarmonasTMを導入し、生産設備の監視・制御、品質管理や業務改善を行っています。
さらにリレーショナル製造情報管理システムPREXIONTMを導入、それにより、生産・運用データを個人のパソコンで加工、報告書作成や履歴分析を格段に簡易化し、日々行われる増設にも対応しています。


エネルギー消費の激しいクリーンルーム、
建物の省エネルギー技術の粋による新たな制御方式で大幅な 省エネルギーに成功


毎年1%のエネルギー削減を目標に掲げ、省エネに対しても様々な取り組みを行っています。特に大口径シリコンウェーハの製造は、クリーンルーム内の温度や湿度を厳密にコントロールする必要があるため、大量のエネルギーを使用します。これまでは、部屋ごとに温度と湿度を個別に制御していました。また、季節の変動への対応も人手で行っていましたが、InfilexTM CRの導入により、無駄のない空調制御を自動で行えるようになりました。その効果は大きく、 投資回収も1年半でできる予想、この実績により、既設ラインや新工場への新規導入も決定しています。


総合力への期待と評価事業拡大、効率改善をともに実現するパートナーとして

急激な需要の増加に合わせて生産拡大を図るSUMCO TECHXIV(株)にとって山武は、効率のよい生産や設備管理を支えるパートナーとなりつつあります。生産管理、ユーティリティー管理による歩留まり改善やコスト削減はもちろんのこと、大きな課題である環境負荷低減や、それにまつわる地域への情報公開などを総合的にコンサルティングできるパートナー。また、日々行なわれる増産、増設、改善に対する対応を、逐次現場でお客さまと一緒に探求するパートナー。建物、工場、省エネルギー、施工などのノウハウの蓄積のある山武への信頼と期待が寄せられています。


TOPIC
工場市場、建物市場のノウハウの融合(シナジー)でさらなる問題解決を
近年、環境配慮、CSRなどの観点から、製造業、公共設備、ビルなどにおいて、以前にも増した環境負荷に対する報告の義務化や、取り組みの強化が必要になってきています。
古くから省エネルギーを提案してきている山武では工場における生産負荷に応じたユーティリティーの制御による効率化を提案しています。また、工場建物に対する省エネルギー効果を保証する工場ESCO事業。工場や研究所におけるセキュリティ管理、有害物質のモニタリングなど、工場市場でのノウハウ、建物市場でのノウハウを統合し、より総合的な省エネルギー、 安全管理ソリューションを提供しています。

Infilex TM CR
■InfilexTMCR
エネルギーの大量消費が避けられなかった
クリーンルーム向け空調コントローラー。
独自に開発した数理計画型モデリング予測
制御を導入し、高速・高精度な温湿度制御
を実現。消費エネルギーが最大約50%削減。
Harmonas TM
■HarmonasTM
プロセス制御で培ってきた制御・監視・データ
処理技術により、自動化(コンピュータによる
処理)と意思決定(人による判断)のバランスが
とれた協調オートメーション。


■PREXIONTM
製造業の設備をつかさどる様々な制御システムから製造プロセスデータを自動収集し、
そのデータを長期に渡って蓄積・管理する製造履歴データベース。
ネットワークを通じて様々な製造業務がパソコン上で可能。

HarmonasTMからのHarmonasTMからのアラーム情報などは担当者の携帯電話にメールで
通信。担当者の所在に関係なく対応速度向上が可能。



お客様紹介

今井氏 SUMCO TECHXIV 株式会社
生産本部 長崎工場
DIS 生産部
部長
今井 光夫氏

「生産性の向上と、省エネ・省人化によるコスト削減は、永遠のテーマです。私たちにはない見地からの、総合的、継続的な提案に期待しています。」

中田氏 SUMCO TECHXIV 株式会社
生産本部 長崎工場
DIS 生産部 環境課
課長
中田 公典氏

「生産から建物ユーティリティーまで一貫してコンサルできるのは、山武しかありません。ゆくゆくはすべてのエネルギー監視を行い、総合的な省エネを山武とともに考えていきたい。」

三浦氏 SUMCO TECHXIV 株式会社
生産本部 長崎工場
DIS 生産部 環境課
第一環境センター
三浦 敦氏

「担当者の携帯電話に異常などが通知されるようになり、迅速な対応がとれるようになりました。運用を現場で見て提案してくれる山武ならではの提案だと思います。」


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