株式会社 山武では圧力測定部材料にサファイアを使用した静電容量式圧力センサの研究開発を進めてまいりましたが、このたび、製品化の第一弾として半導体製造プロセスの中核で使用される隔膜真空計を開発いたしました。

従来隔膜真空計では感圧部材料にニッケル系の材料であるインコネル(INCONEL)（注）やアルミナセラミックスを使用しておりました。

サファイア高温隔膜真空計

当社ではマイクロフローセンサで培ったMEMS（Micro Electro Mechanical System）技術を生かし、従来の材料に比べて耐食性が非常に高い工業用サファイアを感圧部に採用した圧力センサチップを製作しました。更に独自のパッケージ技術と計測回路技術により、高精度の隔膜真空計の開発に成功しました。

MEMS技術の採用により、高温タイプで従来品に比較し、体積比で1/3以下、電源投入から使用可能温度に達成するまでの加熱時間を1時間以下と従来品比でやはり1/3以下の大幅な低減を実現しました。

当社ではサファイアの高温での優れた特性を生かし、感圧部を200℃に自己加熱した高温タイプの隔膜真空計から市場に参入します。自己加熱温度は200℃に加えて、150℃、125℃を用意し、順次、より低温加熱タイプも市場導入いたします。圧力レンジは133.32Pa、1333.2Paを中心とした汎用レンジから順次圧力レンジを拡大していきます。

当社ではサファイア高温隔膜真空計を12月1日より千葉県幕張で開催されるセミコンジャパンに出展いたします。また受注開始を2005年半ばを計画しております。本真空計および関連製品の提供により、5年後に10億円程度の売上を計画しております。

（注）INCONELはthe Special Metals Corporation group of companies の登録商標です。