株式会社 山武（本社：渋谷区渋谷2-12-19　社長：小野木聖ニ）は、世界で初めてのパネルマウント形高機能気体流量MPC™の販売を開始いたしました。

山武は、自社開発のマイクロマシニング技術を用いて製造されるμF（マイクロフロー）センサ™を搭載したパネルマウント形マスフローコントローラ “MPC”を2005年4月より販売開始いたしました。

パネルマウント形マスフローコントローラ”MPC”シリーズは、世界で初めて装置筐体前面パネルへの設置を可能としたマスフローコントローラで、大きさ・重さともに世界最小・最軽量*を実現しました。MPCシリーズは、マスフローコントローラとしてはこれまでにないパネル取付けという新しいコンセプトの気体流量コントローラであるため、約1年にわたり市場調査を兼ねた限定販売を行ってまいりました。市場での評価は概ね良好で、正式販売を望む声も高かったことから、このたび正式に一般販売を開始いたします。

流量制御に高い精度・再現性が必要とされる評価試験装置、成膜装置、ガラス管封止装置（バーナ空燃費制御）では、マスフローコントローラCMQ™シリーズがすでに高い評価を受けております。一方、環境分析機器、培養器、プラズマ溶接機、鉛フリー化に対応した電子部品実装関連装置・リフロー炉などの、従来はフロート式流量計が使用されていた装置でも、小型で設置・操作が簡便、また品質向上を実現できる簡易流量コントロールが求められていました。こうしたニーズに応えて開発したのが、MPCシリーズです。特長は以下のとおりです。

●パネルマウント形マスフローコントローラ　MPCシリーズの特長

• マスクサイズ48mm、奥行73.7mm、300g　世界最小・最軽量を実現。小型ボディに搭載可能な超小型・軽量比例バルブを開発し、流量コントロールを完全自動化しました
• 山武オリジナルのマイクロフローセンサを搭載。圧力・温度変動の影響を受けず、高速（1秒）・高精度（2％FS）の流量コントロールを実現します。流量ゼロから設定値への追従、設定値変更時のいずれも高速での制御が可能です。
• 配管接続部と電気配線部を本体背面に集約。簡便取付けを実現しました。
• フロントマスクのデザインは、山武製デジタル指示調節計SDC™シリーズと共通。すべての操作がパネル前面で可能です。
• 別売のパソコン・ローダ・ソフトを使用することにより、MPCの各種設定値の管理・ダウンロード、制御流量値のトレンドデータ　収集が可能となります。
• 制御対象気体種類：空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス

MPCシリーズの価格はオープンプライスで、2005年度 1億円、2007年度には10億円の売上を目指しています。

*2005年4月現在、当社調査による