株式会社 山武（本社：千代田区丸の内2-7-3　社長：小野木聖二）は、気体流量の高速制御を実現する「デジタルマスフローコントローラCMQ-Vシリーズ」に微少流量モデルを製品ラインナップに追加し、2008年1月より販売開始することをお知らせいたします。

デジタルマスフローコントローラCMQ-Vシリーズは、検出部に当社独自開発の熱式流量センサである「マイクロフローセンサ™」を使用し、高度なPID制御技術にて比例アクチュエータを駆動する高性能な気体用質量流量コントローラです。高速制御、低差圧動作、広い流量制御範囲の実現など、お客さまのニーズにお応えし、ご好評をいただいております。

携帯電話、デジタルカメラ、携帯用ミュージックプレイヤーなどの販売数量が拡大していることに伴い、それらの機器に使用される水晶発振子、レンズの生産数量も増加しております。これらを生産する真空蒸着装置（周波数調整装置、反射防止コーティング装置）においては、5〜10mL／minといった微少流量の窒素・アルゴンなどが使用されており、ここでは高精度で再現性の高いガス流量制御、および高周波ノイズに対する高い耐性が求められています。このような市場ニーズにお応えするため、このたび、微少流量レンジの製品を販売開始致しました。

デジタルマスフローコントローラCMQ-Vシリーズ微少流量モデルでは、空気／窒素、酸素、アルゴンにて「0〜5mL／min」「0〜20mL／min」といった微少流量域における高速制御に対応するために、新規にMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）センサを開発しました。高速制御性によりガス供給圧力変動や背圧変動・炉内圧力変動の影響を受けずに安定した流量制御を実現しております。

デジタルマスフローコントローラCMQ-Vシリーズ微少流量モデルは、一台180,000円より、3年後には年間3,000台の販売を目指しております。

●製品詳細

製品名：	デジタルマスフローコントローラCMQ-V微少流量モデル
販売開始：	2008年1月
販売価格：	180,000円〜／台