azbilグループの株式会社 山武（本社：東京都千代田区丸の内2-7-3、社長：小野木聖二）は、従来のマスフローセンサからさらなる小型化・性能向上を実現し、世界最小・最軽量（2008年11月1日現在、マスフローセンサのサイズにおいて当社調べによる）のマスフローセンサ「MCS200」（以下：MCS200）を11月18日より販売開始することをお知らせいたします。

2002年に発売を開始しているマスフローセンサ「MCS100」（以下：MCS100）は、当社が独自に開発したμFセンサ（マイクロフローセンサ™）を使用した、当時では世界最小の小型・軽量熱式質量流量センサとして、チップマウンタ・ダイボンダ・テーピングマシンなどの電子部品実装装置での部品吸着検出や、理化学機器（エアサンプラ・ガス分析計・毒ガス検知器・酸素濃度計）の被計測流体吸引流量のモニタリング／流量制御、在宅酸素濃縮器の供給酸素流量制御などのアプリケーションにて多数お使いいただいております。

今回販売を開始したMCS200は、MCS100が実現した5msの高速応答性を活かしたままにさらに小型・軽量化し、高精度・高再現性をも実現したマスフローセンサです。サイズは28.2mm×10.0mm×11.8mm（取付けネジ部、コネクタ突起部含む）、重さは5gで、MCS100と比較して容積で1/3、重さで1/2と大幅な小型・軽量化を実現し、まさに世界最小・最軽量のマスフローセンサとなりました。

また配管との接続方法も、従来のネジ接続を廃し、より高効率な設置を可能とするマニホールド接続（装置メーカー様にて専用に設計される流路ブロックに、専用ガスケットを介して表面実装する）を採用し、接続継手・配管チューブ引き回しに必要なスペースを省き、周辺部全体ではさらに大きなスペース削減が可能となりました。このメリットを活かして、より高速の実装タクト時間を実現するために移動ヘッド機構の小型・軽量化が必要とされる電子部品実装装置、機動性の向上が求められる携帯型理化学機器、掌サイズのCPAP（SAS（睡眠時無呼吸症候群）治療器）などにも最適な小型・軽量化が実現できました。

さらに、計測レンジごとに最適な流路口径としたことで、計測精度がMCS100では「±5％FS」だったものが「±3％FS」へ向上したことや、駆動電圧も産業装置用途で一般的である「DC24V」の他に、携帯型機器でのバッテリー駆動に対応するために「DC5V」駆動を実現するなど、各種市場からのフローセンサに対する要求内容にお応え出来る製品となっております。

MCS200は、サンプル販売価格にて1台20,000円（専用ケーブル別売）、主に電子部品実装装置、理化学機器（エアサンプラ・ガス分析計・酸素濃度計）、医療機器（在宅酸素濃縮器・内視鏡・CPAP）、パソコン・携帯電話用マイクロ燃料電池等の用途にて、3年後に200,000台の販売を見込んでいます。




製品概要

製品名	：	マスフローセンサMCS200
販売開始	：	2008年11月
販売価格	：	20,000円／台（サンプル販売）