azbilグループの株式会社 山武（本社：千代田区丸の内2-7-3 社長：小野木聖二）は、デジタル指示調節計SDC™45/46シリーズに、新たに高精度モデルである「SDC45R/46R」をラインナップに追加、販売を開始しました。

SDC45/46シリーズは、高速サンプリングと高精度な計測が可能な高機能デジタル指示調節計です。アナログ入力を最大3点（形番による）実装可能であるため、1台で多彩な制御を実現することが可能です。また、発信器用電源を含む豊富な出力機能も備えています。2007年度のグッドデザイン賞を受賞したその操作性、視認性に優れたフロントパネルを採用し、工業炉、食品機械からプラント、半導体市場まで幅広いアプリケーションに多く導入されています。

今回販売を開始したSDC45R/46Rは、特に半導体市場およびフラットパネルディスプレイ（以下、FPD）市場において、精密な空調の実現や熱源（チラー）の高精度な制御の要求が多いことから、製造装置やユーティリティ向けに装置性能や歩留まりの向上を目的として開発されました。

SDC45R/46Rは高精度計測を実現するため、PV（現在温度）入力において、研究室などでよく使われる白金測温抵抗体＊の4線式センサに対応しています。サンプリング周期100ms、入力精度は±0.05℃、分解能（表示できる最小単位）は0.001℃と高精度・高分解能な温度計測が可能です。また、ヒータ電源電圧の変動をリアルタイムに捉えて制御出力を自動補正する機能を実装しており、制御結果の安定に貢献します。

SDC45R/46Rの販売価格は1台175,000円から、主に半導体製造装置やFPD製造装置向けの空調チャンバー、チラー、クリーンルーム製造メーカへ積極的に営業を行い、初年度3000台の販売を見込んでいます。

本製品は、12月3日〜5日、幕張メッセで開催されるセミコン・ジャパン 2008に出展いたします。

*測温抵抗体：金属や半導体等の電気抵抗値が温度によって変化する特性を利用したものであり、金属の場合は温度が上昇すると抵抗値が増加。白金測温抵抗体とは、測温抵抗体の1種で、温度特性が良好で経時変化が少ない白金（Pt）を測温素子に用いたセンサ。