安全・快適 - 汚染領域からの拡散防止
- ガスの封じ込め能力
- 汚染領域からの拡散防止
- 研究環境の信頼性と安定性
- 快適な温熱環境
局所排気装置などの総排気量と、給気量の差異(オフセット)を確保する“体積ベースでのオフセット制御”により、室圧を隣接した空間に対し常に負圧(実験室の場合)にコントロールします。風量制御バルブ(Accel II)により高精度、高速度の応答が実現できます。
従来の差圧制御と比較し、格段に性能が向上します。
| ・ | 差圧フィードバック信号に基き制御していたので、排気量の変動にともなう室圧変化の際の応答が遅い → 体積によるオフセット一定のフィードフォワード制御で解決 |
| ・ | 局所排気装置の作動によるダクト静圧変動や扉開閉等の外乱の影響が強いため、隣り合うフードや隣室、系全体に悪影響を与える可能性が高い → 風量制御バルブ(Accel II)の圧力独立性、および室毎に独立した体積制御で解決 |
| ・ | 操作端である風量制御バルブの応答速度が遅い → 風量制御バルブ(Accel II)の1秒以内の高速度応答で解決 |
movie - 交叉汚染防止テスト
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flash - 室圧のコントロール
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