概　要

特　長

概要

弊社のμＦ質量流量計シリーズ（マスフローメーター・マスフローコントローラー）は、質量流量を直接測れる弊社独自開発のマイクロフローセンサを使用した気体の流量計、コントローラーです。
広い計測範囲、高精度、高速応答などセンサの特長を活かした気体流量計測を実現しています。

特長

1. 質量流量計測
   

   空気、ガスの使用温度、圧力にかかわらず標準状態に換算した流量を計測できます。
   （* 標準状態に換算した流量とは、1気圧、0℃（または20℃）での体積流量を表します。）

2. 広い計測範囲
   

   一般に気体流量計は、最大計測流量に対し低い流量域の計測が困難でしたが、マイクロフローセンサの搭載により広い範囲での計測、制御を実現しました。 マスフローメーターCMSでは100：1、大流量マスフローメーターCMLでは160：1（計測範囲は1,280：1）のハイレンジアビリティ！ 空気やガスの使用量の管理、省エネにおける漏れの管理に最適です。

3. 高速応答
   

   センサが直接気体に触れて計測しておりますので、高速応答性を実現しています。

4. 低圧損構造
   

   マイクロフローセンサは流路の壁面に設置され、流れの抵抗となる構造体が少ないため、低圧力損失を特長としております。低圧での気体流量計測、制御のアプリケーションに最適です。

5. 高精度
   

   広い流量域での高精度を実現するため、マスフローメーターは、RD（読み値）精度規定を採用しております。

6. 多様な機能
   

   様々なニーズにお応えできるよう標準機能として各種装備しております。
   　瞬時／積算流量表示、ガス種類切替機能、上下限警報出力、アナログ出力、積算パルス出力、通信機能など　（* 製品により異なります）

7. 幅広いラインアップ
   

   0〜200mL/minから0〜1600m3/hまで、使用用途に応じて幅広い流量域のラインアップをご用意しております。