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山武独自のμFセンサ技術を凝縮した、多彩なラインナップをご提案します。
マスフローメーター/マスフローコントローラー
質量流量を直接測れる弊社独自開発のマイクロフローセンサを使用した気体の流量計、コントローラーです。