半導体 レシピ管理システム／LineWorks RM (ラインワークス・アールエム)
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| 概要 | |
機能 |
LineWorksRMはFabワイドのレシピ管理システムです。
常に個々の装置に於いて正しいプロセスレシピとコントロールパラメータの実行を約束します。
レシピ管理システムは、単なるレシピボディのストレージだけでなく、レシピに関連する様々なレシピオブジェクトを関連付けて管理します。
RtR、APC、RTD、FDCなど、最新の生産システム群とのインテグレーションを想定したXMLベースのAPIにより高度なオートメーションシナリオを実現します。
SiView、300Works、Promisなど主要なMESとの導入実績が信頼の証です。
- レシピの集中管理によるプロセスセキュリティの確保
- レシピの承認とリリース管理
- メイン/サブレシピ管理
- APS(Adjustable Parameter Sets)によるAPCサポート
- レシピ履歴管理
- レシピアップロード/ダウンロード/スマートコンペア
- アンフォーマッテドレシピの構文解釈ツール
- ユーザ定義フィルタによるレシピ検索
- レシピ関連オブジェクト管理
