FDCソリューション／Maestria(マエストリア)
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概要
Maestriaは、最先端の300mmFABへの豊富な導入実績を誇る、米国 PDF Solutions社のFDCソリューションです。EEデータ収集、T² Hotelling解析による異常検出（Fault Detection）、独自技術による異常分類（Classification）をオンラインで実現します。
特長
- 大手デバイスメーカーにおける、FDCノウハウを製品化した高い信頼性と完成度。
- 300mm製品ラインへの豊富な導入実績。
- EEデータモニタリング、装置SPC、FDC、FDCサーバを備えたEESソリューション。
- T² Hotelling解析の採用によりFDCで問題となるモデリング作業を大幅に軽減。
- オリジナルアルゴリズムにより警報検出および分類を自動化。
オンラインFDCイメージ
T² Hotellingを使用したGPC
GPC（Global Process Control）は SPCや単一パラメータ管理では摘出不能な異常を T² Hotelling を活用した多変数解析により検出し、さらにオリジナルの分類機能で自動的にパターンをレベル分析を行います。
導入効果
- テストウエハーの大幅削
- 装置稼動率の向上
- チャンバー/マシン間差の削減
- インライン測定工程の削減
- ウエハースクラップの削減
- 装置メンテナンスサイクルの延長
EES 〜センサーから多変量解析まで〜
Maestriaのベネフィット/課題解決とその事例
*Maestriaは、米国 PDF Solutions社の商標です。
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