半導体プロセス用オンラインSPC LineWorks SPACE(ラインワークスペース)

概要

機能

概要

ドイツのInfineonのアイデアで1997年に製品化されヨーロッパ、北米、アジアで実績のあるシステムです。
既存のあらゆるMESと柔軟に統合が行えるよう配慮されたオンラインSPCソリューションです。
Inlineの計測データやプロセスデータを即座にSPC判定し、異常傾向を発見・通知します。
チャートの追加や様々な条件設定は、ソフトウエアエンジニアを必要とせず、プロセスエンジニア単独で運用できます。
オンラインSPC専用に開発されたアーキテクチャにより、全社規模での運用においても非常に高速な判定を可能にしています。多品種・QTATが要求される最新FABを強力にサポートします。

機能

• オンラインチャート
  

  SPC判定結果を必要な場所にリアルタイムでコントロールチャートを表示します。計測データは、平均・レンジ・シグマのトレンドや、ヒストグラムを工程・品種・装置などのユーザー固有条件で分類してチャート化します。

• オフラインチャート
  

  大量の管理項目の中から簡単な操作で過去のチャートを呼び出せます。特定サンプルを除外した、工程Indexの計算やコントロールリミットの自動計算などSPC管理業務の効率を大幅に改善できます。

• レポート
  

  工程能力指数や各種Indexを工程・品種・装置などのユーザー固有条件で分類して計算します。結果はWebを使った閲覧が可能で、問題のあるプロセスを迅速に発見できます。

• インテグレーションキット
  

  データ送信用プログラムは、各種開発言語で提供可能ですので、既存の開発環境に合せてチョイスできます。オンライン化されていない検査データを収集するWeb端末やMESとの統合用APIも用意されています。

• カタログPDF