半導体生産管理システム／ORCHARD-3(オーチャード-3)
- 半導体生産に適したスケジューリング
- ロット対決法
 各ロットに設定した個々の納期から、各工程の目標処理予定日時を求め、それに対する実際の進捗度合いによって各ロットの各工程の処理予定を決定していく、ロット対決法というアルゴリズムを採用しています。このアルゴリズムにより、各ロットの納期を守りながら、スループットを極力落とさないようにする運用が可能になります。
＜右図の説明＞
１つのロットの進みと遅れを補正しながら納期までのスケジュールを決定するイメージ図
- メンテナンス
定期メンテナンスや条件に応じたメンテナンスなど、装置の保守作業をスケジューリングに反映させます。メンテナンスをスケジューリングすることによって、保守作業指示をおこなうことも可能です。
- 半導体生産特有なルールへの対応
相乗り、ロットの分割・併合、水準分け、指定工程での一時中断、レチクル入荷時期の考慮等半導体生産に特有な生産ラインの運用をきめ細かに配慮したスケジューリングが可能です。
- 稼動予定表
ライン全体、各装置、各オペレータグループそれぞれの稼働予定をスケジューリング時に考慮し、実際の生産時の稼働状況に即したロットのスケジューリングを行います。
- シミュレーション機能
生産ラインのデータに影響を及ぼさずにシミュレーションを行い、納期回答に利用したりロット投入による影響等を把握することができます。
- 使いやすいトラッキング・進捗管理機能
生産ラインにおけるロットの各工程の処理予定をオペレータの方々に対して作業指示を行い（ディスパッチ）、トラッキングしていただくことにより進捗管理を行うことが出来ます。進捗状況は、ロット進行チャートやガントチャート等により明確に把握することができます。
- システムアーキテクチャ
オープンプラットフォーム（Windows,ORACLE）に搭載したことにより、小規模から量産まで幅広く活用することができ、将来の規模拡張へもスムーズに対応できます。
- 活用しやすい品質管理機能
各種装置からオンラインで収集した多様な品質データにフレキシブル対応するデータベース構造を採用しています。汎用のデータ解析ツールを自由に利用できます。
- 優れた操作性
- ユーザインタフェース
画面はSEMATECHのSCC User interface style guideのコンセプトを採用しています。また日本語で対応しています。
- トラッキング端末
省スペース、低コストで操作性に優れたノートPC端末を用意しました。
- TCADインタフェース
効率よくプロセスシミュレーションデータを作成するためのTCADインタフェース機能も用意しました。
 他のアルゴリズムとの比較
| 他のアルゴリズム |
ORCHARD-3(オーチャード-3) |
- ワンステップ法
＜スループットを重視＞
到着ロットを優先度順に割り当てます。
⇒超短TATロット対応不可
- ツーステップ法
＜TAT を重視＞
超短TATロットを先に割り当て、残りに他のロットを割り当てます。
⇒スループットが低下
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その他の特長
| 進捗遅れへの対応 |
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ロット比率に対するTATの制御性 |
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目標ＴＡＴに対する制御性 |
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| 理想処理予定を用いているので、途中で遅れが生じると、ロットの優先順位が上がり遅れを自動回復します。 |
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短TATロットの比率が変わっても、TATを一定に保てます。さらに特定の標準ロットのTATを一定に保つことも可能です。 |
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短TATロットを目標TATに合うように自動制御します。
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- ガントチャート
＜分かりやすいスケジュール結果と進捗表示＞
- 各工程の進みと遅れを色で識別
- トラッキング結果をリアルタイムに反映
- ロット別、装置別で切替可能
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- ロット進行チャート
＜一目で分かるロットの進捗＞
- 各ロットの納期に対する進みと遅れが一目瞭然
- 異なる品種間の進捗比較も容易
- トラッキング結果をリアルタイムに反映
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- ディスパッチ画面
＜オペレータに優しいディスパッチ画面＞
- スケジュールとトラッキングを反映したダイナミックな優先順序表示
- 到着、仕掛、予定の3段階表示
- バーコードによる簡単なオペレーション
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- 稼動予定編集画面
＜使いやすい稼働予定編集機能＞
- 稼働のパターン化により設定が容易
- オペレータのグループ別設定も可能
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