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半導体関連向けアプリケーションのご紹介
半導体生産現場におけるコンサルティングからシステム化、運用、保守に至る一貫したソリューションを提供します。
半導体総合カタログPDF
山武は、システムインテグレータとして、半導体製造に関する業務改善のトータル・ソリューションをご提供します。
半導体生産管理システム/ORCHARD-3(オーチャード-3)
半導体製造プロセスの運用に欠かせない機能で構成されたソフトウェア・パッケージです。
半導体生産出荷管理システム/ORCHARD-Link(オーチャード・リンク)
顧客またはサプライチェインから生産ラインへの出荷要求に対して在庫品・仕掛品・投入待ち品をチップ単位で引当て、出荷先・出荷日を回答するシステムです。
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高付加価値な装置保全という切り口で、製造装置の稼働率と製品歩留まりを改善します。
オンラインSPC/LineWorks SPACE(ラインワークスペース)
既存のあらゆるMESと柔軟に統合が行えるよう配慮されたオンラインSPCソリューションです。
半導体 レシピ管理システム/LineWorks RM(ラインワークス・アールエム)
Fabワイドのレシピ管理システムです。常に個々の装置に於いて正しいプロセスレシピとコントロールパラメータの実行を約束します。
FDCソリューション/Maestria(マエストリア)
EEデータ収集、T² Hotelling解析による異常検出(Fault Detection)、独自技術による異常分類(Classification)をオンラインで実現します。